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Reinraum |
Als Rein- oder Reinstraum bezeichnet man einen besonderen Raum, dessen Ausstattung so konzipiert ist, dass in ihm die Konzentration luftgetragener Partikel möglichst gering bleibt. Solche Räume sind beispielsweise in der Halbleiterindustrie erforderlich. Hier würden die in der gewöhnlichen Raumluft befindlichen Staub- und Schwebeteilchen die Herstellung integrierter Schaltkreise negativ beeinflussen. Reinräume finden sich in Optik, Lasertechnik, Luft- und Raumfahrttechnik, Biochemie, Medizin, Forschung sowie in der Lebensmittel-, Pharma- und Nanotechnik. Zur Klassifizierung von Reinräumen werden verschiedene Normen und Richtlinien herangezogen. Dazu zählen die ISO 14644-1, die ECSS-Q-ST-70-01, die VDI 2083, der GMP-Leitfaden Annex 1 und der US FED STD 209E. Zu den wichtigsten Kriterien der Klassifizierung gehören die Partikelgröße in µm und die Partikelmenge je m3 (oder ft3).
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